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Nanofilm RSE
UV/VIS reflection spectrometer
 
제조사 수입
원산지 미국
     
 

Nanofilm RSE (Referenced Spectroscopic Ellipsometer)는

  • 레퍼런스와 샘플의 ellipsometric 차이를 비교하여 박막 두께를 측정하는 방식의 엘립소미터
  • 측정 중 광학 부품의 이동이나 조정이 불필요
  • Single-Shot 측정으로도 초당 100개의 고해상도 스펙트럼
  • 동기화된 x-y 스테이지를 이용하면 수 분 내에 넓은 면적의 필름에 대한 박막두께 측정가능

Application

  • 웨이퍼 검사 (Wafer Inspection)
  • 오염 검출 (Detection of Contaminants)
  • 초박막, 중간층 두께 측정 (Thickness of Ultrathin Films, Interlayers)
  • 투명 기판 위의 박막 두께 측정 (Thin layers of Transparent Substrates)

고전 Ellipsometry와 Reflectometry의 비교와 장점

  • 레이저 엘립소미터와 비교했을 때 RSE는 450~900nm의 분광학 정보를 포함
  • 분광학 정보는 박막에 입혀진 하나 이상의 파라미터(두께 및 광학 밀도와 같이 가변적인 경우)가 존재할 때 중요
  • 참조되는 메소드는 절대적인 메소드보다 민감하다. 그러므로 박막이 초점면에 있을 때 RSE는 전통적인 엘립소미터보다 우수함






RSE - Referenced Spectroscopic Ellipsometer

Specifications conv. Ellipsometry Reflectometry RSE
Film-thickness range 0.1nm - 10μm ~ 500nm - 1000μm 0.1nm - 10μm
Film thickness resolution typ. <0.01nm ~0.5 - 1.0nm typ. <0.01nm
Measurement speed ~ 0.5 spectra/second ~10 spectra/second 100 spectra/second
Moveable parts YES NO NO
 
 
 
 
 
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