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FR-Scanner
Film Metrology
 
제조사 수입
원산지 그리스
     
 

FR-Scanner 제품특징

  • 대형 기판의 필름 및 코팅의 반사율 측정을 통한 자동 특성화에 적합한 소형 Bench-top
  • 두께, 굴절률, 균일성, 색상 등의 관점에서 필름을 빠르고 정확하게 매핑
  • 어떠한 크기나 모양의 웨이퍼도 진공 Chuck에 올릴 수 있음

Application

  • Semiconductor Manufacturing
  • Polymers
  • Hardcoat, Anodization, Metal parts process
  • PV Industry
  • Liquid Crystal Display
  • Optical Coating


Specifications FR-Scanner-E VIS/NIR FR-Scanner-F VIS/NIR FR-Scanner-F VIS
Sample Size 2 ~ 8 inch 웨이퍼
Resolution in R 10μm 5μm 5μm
Resolution in Angle 0.2 º 0.1 º 0.1 º
Spot Size 500μm
Spectral Range 350 - 1100nm 350 - 1100nm 550 - 900nm
Pixels 3648 Pixels
Thickness Range 20nm - 90μm 20nm - 90μm 100nm - 190μm
Weight 23kg 40kg 40kg
 
 
 
 
 
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