HOME > 제품소개 > 광학측정시스템 > Ellipsometer
FR-pOrtable
Film Metrology
 
제조사 수입
원산지 그리스
     
 

FR-Portable 장점

  • 사용자는 370 - 1020nm의 Spectral Range에서 반사/투과 측정 가능
  • 두께 측정 범위는 12nm부터 90μm까지 가능하며 n, k value의 계산 가능
  • 휴대 가능하며 USB 전원으로 동작
  • 반사/투과 이외에 흡수 및 색 파라미터도 측정 가능

Application

  • Polymer & Photoresist characterization
  • Non-metal Films
  • Dielectric characterizations
  • Hardcoats
  • Semiconductors
  • Dynamic measurements
  • Optical Coating
  • Measurements in-the-field

백색광 반사 분광법(WLRS)은 입사광이 샘플 표면에 수직인 상태에서
박막이나 다중층 레이어로부터 반사된 빛의 양으로 측정하는 방식입니다.
측정된 반사 스펙트럼은 박막의 두께, 광학 상수 등을 결정하는데 사용됩니다.

Specifications
두께 측정 범위 12nm - 90μm
측정 정확도 0.2% or 1nm
측정 정밀도 0.05nm or 1‰(0.01n㎥)
샘플 크기 1mm - 300mm 이상
Spectral Range 370 - 1020nm
Working Distance 3 - 20mm
Spot Size 1.5mm
측정가능 층수 최대 5층
Wavelength Resolution 0.8nm
 
 
 
 
 
07072 서울시 동작구 신대방1가길 38 (신대방 719번지 동작상떼빌) 106동 209호 (주)원우시스템즈
TEL : 02-533-6720, 02-3289-1290  FAX : 02-3289-1293
Santevill 106-209, 38, Shindaebang1ga-gil, Dongjak, Seoul, 07072, South Korea
Copyright 2000-2017 Wonwoo Systems Co.,Ltd. All right reserved