응용분야 Application
- 에시머 레이저 노광장치
- 다이오드 레이저, 고체 레이저, 램프의 시간에 따른 분광적 안정성 측정
- LIBS
Specifications
Aperture
F/50
Spectral resolution capability
2.5 Mio.-10 Mio.
Max. wavelength range
157-1,100 nm
Simultaneous inspection range
8-400 nm
Typ. wavelength range
190-550 nm
Resolution FWHM
85-240 fm
Dimensions
1,400 x 810 x 250 mm
Weight
50 kg
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