백색광 반사 분광법(WLRS)은 입사광이 샘플 표면에 수직인 상태에서 박막이나 다중층 레이어로부터 반사된 빛의 양으로 측정하는 방식입니다. 측정된 반사 스펙트럼은 박막의 두께, 광학 상수 등을 결정하는데 사용됩니다.
Specifications
두께 측정 범위
12nm - 90μm
측정 정확도
0.2% or 1nm
측정 정밀도
0.05nm or 1‰(0.01n㎥)
샘플 크기
1mm - 300mm 이상
Spectral Range
370 - 1020nm
Working Distance
3 - 20mm
Spot Size
1.5mm
측정가능 층수
최대 5층
Wavelength Resolution
0.8nm
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